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                      氣體知識

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                      CHF3_電子工業用氣體 三氟甲烷國家標準GB_T 34085-2017

                      2019-7-2 15:01:00

                      0
                      一、范圍
                      本標準規定了電子工業用三氟甲烷的技術要求、試驗方法以及包裝 、標志 、貯運及安全。
                      本標準適用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產品,它在電子工業等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體。
                      分子式:CHF3
                      二、技術要求
                      三氟甲烷的質量應符合表1的要求
                      三氟甲烷
                      三、三氟甲烷純度計算
                      三氟甲烷
                      四、包裝、標志、貯運及安全
                      1、包裝三氟甲烷的氣瓶應符合GB/T 5099的規定。
                      2、推薦使用進行內表面處理的氣瓶,處理后的氣瓶應滿足本標準的要求。瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA320。
                      3、應防止瓶口被污染和泄漏。
                      4、包裝容器上應標明“電子級三氟甲烷”字樣。
                      5、三氟甲烷產品應存放在陰涼、干燥、通風的庫房內,嚴禁暴曬、遠離熱源。
                      6、三氟甲烷在常溫常壓下具有窒息性、無色無味氣體,空氣中不燃燒。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐,有麻醉作用。
                      7、三氟甲烷與高溫表面或火焰接觸時,分解生成腐蝕性和毒性都極高的氟化氫煙霧。
                      8、接觸三氟甲烷氣體可能引起心律失常和窒息。吸入蒸氣可能引起中樞神經系統抑郁。液態時濺到皮膚上能引起灼傷。
                       
                       
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